[지방대학활성화사업(반도체)] 반도체 공정 중 진공 플라즈마 광 진단 원리와 응용 특강

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[지방대학활성화사업(반도체)] 반도체 공정 중 진공 플라즈마 광 진단 원리와 응용 특강

모집대상 전체 학생/교수/대학원생/외부인/교직원
학년/성별 전체 학년/전체 성별
학과 전체 학과

교육혁신처 지방대학활성화사업단

진로/취업/창업지원 특강 프로그램

wyjang@yu.ac.kr
053-810-4876
자연과학대학강당

1. 반도체 및 디스플레이 소자 제조를 위한 진공 플라즈마 공정을 실시간 모니터링할 수 있는 다양한 진단 방법의 소개
2. 분광학의 기본 개념
3. 비접촉 광학 측정 방식인 발광 분광 분석법(optical emission spectroscopy, OES)을 이용한 플라즈마 진단 방법에 대한 설명
4. 질의응답

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